二手 BROOKS AUTOMATION Backbone #9294028 待售

BROOKS AUTOMATION Backbone是一种晶圆处理器，是半导体製造商用来传输和处理半导体晶圆的一种科学仪器。晶圆处理程序的主要目的是使晶圆的运输和加工自动化，从制造的一个阶段到制造的下一个阶段，用最少的人工干预。骨干是一种全自动晶片处理设备，旨在使半导体晶片在加工步骤之间运输，并在延长加工运行期间储存晶片。其核心是BROOKS AUTOMATION Backbone由一系列用于制造过程中转运和储存晶片的传输机制和腔室模块组成。传输机制用于将晶片从输入模块移动到指定的处理模块，而腔室模块充当系统内的物化点。每个模块的设计都是为了保持特定的压力、温度、环境和清洁度要求，例如动态清洁或对大气进行预调理以进行精细处理。骨干还配有传感器，用于测量机组的状况，例如压力和温度。为了确保准确和安全的交付,BROOKS AUTOMATION Backbone设计了先进的运动控制系统,可提供精确控制和安全措施。这对于晶片载流子确定它们在正确的方向上准确移动是必要的，载流子之间没有接触，载流子在处理晶片时要小心，没有任何损坏。骨干还支持各种类型的晶圆载波，如200mm、300 mm、tappered和其他定制尺寸。也有适用于高温过程的载体。该机器还可以通过软件轻松调整和修改不同的晶圆尺寸。总体而言,BROOKS AUTOMATION Backbone是一种可靠和复杂的晶片处理工具,可提供安全、精确和高效的晶片运输和存储。它简化了手动操作，并允许可控制真空的重复炉过程，以及晶片在这些过程步骤中的精确移动。它是从大批量生产到研发等各种晶圆处理应用的领先选择。