二手 BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2 #9015227 待售

BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2是一种晶圆处理设备,旨在为制造商、半导体器件制造商和研发实验室提供可靠的晶圆传输和生产。该系统由一个基于输送机的晶圆处理程序、一个晶圆穿梭器和一个用于精确、可重复晶圆处理的两轴机器人臂组成。输送机采用基于视觉的定心机设计,能够以每秒300毫米的速度定位、跟踪和定位一个或多个晶片,同时保持高精度精度和可重复性。晶圆穿梭机采用专有的超低调设计，允许以最大吞吐量速率高效装卸多个晶圆盒式磁带。双轴机器人臂设计用于晶圆的精确、可重复的拾取和放置。DBM 2406-V2晶片处理程序可以使用多种晶片尺寸，能够测量每个晶片在其中心点15 µm以内，并相应调整其速度。它设计用于在蒙太奇操作中处理高达600mm或高达300 mm的过程中保持高精度和可重复性。此外,晶片处理程序能够同时处理不同类型的晶片,如硅、发光二极管（LED）和玻璃,而不会牺牲性能。BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2晶片处理器非常适合任何需要输出具有可靠生产率的精确、可重复晶片的半导体制造设施。该工具基于输送机的晶圆处理程序、晶圆穿梭器和双轴机器人臂设计为提供尽可能高的吞吐量和精度，同时保持低拥有成本。此外,晶片处理设备还具有安全功能,如紧急停止按钮和互锁模型,以确保晶片和设备操作人员的最高安全性。