二手 BROOKS AUTOMATION E40001182 and E19013780 #57120 待售

BROOKS AUTOMATION E40001182 EChanger和E19013780 EChanger是两个专门为半导体和光电器件加工而设计的晶圆处理器。这些高性能机器提供自动晶片处理、热管理和检查功能,以实现最大的吞吐量和提高设备产量。EChanger设计用于将晶片从其存储位置移动到处理站。机器的主要部件包括主框架、伺服电机、驱动单元和航天飞机。主框架由两个主支撑和一个容纳伺服电机、驱动单元和其他组件的中央框架组成。伺服电机负责航天飞机和相关模具的对准、平移和旋转。驱动单元由一个电机、变速箱和一个控制器组成，负责设备的同步、定时和控制。EChanger可以通过一系列运动模式传输各种晶圆大小和重量。该机采用精密运动划线、热能剖面仪和扫描场调节，确保晶圆处理准确。该机设计用于保持晶圆平坦度，处理高达200多个晶圆的盒式磁带，并在处理过程中提供实时热管理。EChanger具有安全的工作环境安全功能。它有一个安全互锁系统，以防止航天飞机意外激活，并且在发生紧急情况或用户错误时还配有紧急停止按钮。它还有一个紧急断电开关，用于在紧急情况下关闭设备。EChanger还具有防尘和防潮功能,以确保清洁的操作环境。除了EChanger的晶片交接功能外，E19013780 EChanger还配备了一个检测站，可让操作员查看晶片并检查设备的状况。这包括高精度CCD相机、车载照明机以及超清、对比度保护、双图像跟踪三项先进图像处理技术。这些特性为准确的产量分析和设备表征提供了更高的准确性和可重复性。BROOKS AUTOMATION EChanger提供了可靠高效的晶圆处理解决方桉。由于它具有伺服电机、驱动单元和精密运动划线技术等特点，它允许晶圆的最大吞吐量和精确对准。它还配备了包括检测站和实时热管理功能在内的其他功能，使其成为半导体和光电器件加工的理想之选。