二手 BROOKS AUTOMATİON EFEM #293600201 待售

BROOKS AUTOMATİON EFEM是专门为基于工厂的自动化环境设计的晶圆处理设备。它为用户提供了在工业生产过程中处理晶片的可靠、高速和低维护解决方桉。该系统采用伞状机器人手臂，在生产过程中将晶片从一个工作站安全准确地传输到另一个工作站。机器人手臂利用气动驱动的直线执行器和高度精确的电机，以方便无缝和受控的运动。机器人臂连接到一个由一系列联锁的方形截面组成的龙门架安装钢框架，这些截面以方格形式连接在一起。这个坚固的框架提供了支持机器人运动所需的结构完整性。EFEM单元还具有允许微调和优化晶圆处理过程的高级软件。该软件具有用户定义的复杂算法和参数,使机器人臂能够实时响应生产环境的变化。可以方便地修改机器人的运动模式，以适应不同的晶圆大小和形状。机器的模块化设计也意味着可以很容易地添加额外的组件，以提高自动化效率和多功能性。例如，可以将多个机器人臂连接到同一个帧上，允许同时进行晶圆传输。此外,还可以安装各种不同的晶片插座,如板式托盘、篮子和托盘,使用户能够根据其生产过程的具体需要灵活地配置工具。综上所述,BROOKS AUTOMATİON EFEM是一种可靠且用途广泛的晶圆处理资产,它为工业用户的生产过程提供了高效、经济高效且高度可靠的解决方桉。由于其用户友好的软件，易于安装和组件的灵活性，它是一个非常适合广泛的晶圆传输应用的选择。