二手 BROOKS AUTOMATİON EFEM #9358219 待售

BROOKS AUTOMATİON EFEM是一种高性能晶片处理程序,旨在在广泛的工厂自动化和材料处理应用中精确、快速地移动和处理精细的晶片和组件。它是一种多用途、高通量的机器，允许晶片以受控和安全的方式在不同的进程之间移动。Brooks EFEM晶圆处理器是一种模块化的自动化设备，由伺服电机、运动控制器、机器人臂、手动转运车或这些的任意组合组成，以控制晶圆的运动。机器人臂是系统的关键部件，配置为可满足特定的应用要求。这种灵活的单元允许各种晶圆处理配置,这些配置涵盖了广泛的应用,包括精密晶圆处理和传输、装配操作、机器加工和半导体制造。机器人臂设计用于处理直径达450mm的晶片。它配备了一个径向执行器来精确控制晶片相对于臂的角度方向和BROOKS AUTOMATİON EFEM的基座。这种设计允许在不同的特殊过程之间移动和处理晶片时保持一致的高精度角度。机器人臂还具有集成的晶片夹紧机，并且为了优化性能，有一个"启动停止"操作，它允许机器人臂停止，其状态记忆按照应用需要精确定位晶片。该机器人与摄像机相结合，用于视觉引导和精确的晶圆对准。Brooks EFEM能够在工艺之间精确传输晶片,速度高达300 mm/sec。它也有一个标准的命令集来控制机器人和/或其附件的操作。其高精度和高速度降低晶圆处理时间，直观的控制程序保证准确性。Brooks BROOKS AUTOMATİON EFEM是当今市场上最可靠的晶圆处理系统之一，因为它具有高性能的元件和质量的构造。最后,EFEM是一种有效的晶片处理程序,它设计用于在各种工厂自动化和材料处理应用中精确、快速地移动和处理精细的晶片和组件。它的模块化设计和灵活性使得它更有利于涉及高度精确角度和运动的应用。它也是当今市场上最可靠的晶圆处理系统之一，因为其高性能的元件和构造。它是满足大多数自动化工厂环境需求的理想工具。