二手 BROOKS AUTOMATION FabExpress #293798433 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293798433
Robot
Assy, 8"
JET
Active Edge Grip (AEG)
Robot mounting assembly
4-Axis razor robot
Razor aligner, 8"
(2) Vision LPM with mapping, 12"
Aligner
Controller
FFU.
BROOKS AUTOMATION FabExpress晶圆处理程序是专门为半导体行业设计的自动化传输模块。它用于在半导体制造过程中在加工设备之间移动晶片，如光刻工具、CVD工具、蚀刻器和湿板凳。晶圆处理程序能够以高达每小时12个晶圆的速度传输直径达200毫米的晶圆。它可以在压力或真空水平下操作，以保持对晶圆处理的严格过程控制。FabExpress具有高精度晶圆切丁模块,旨在为晶圆处理提供可靠的性能。切割模块允许精确的微调调整,从而实现晶圆的精确传输。该模块还拥有高速摄像机设备和内置激光检测系统，以确保切割过程的准确性。提供了一个可编程视觉单元，简化了晶圆处理程序的设置和操作。BROOKS AUTOMATION FABexpress晶片处理程序利用伺服电机和气动执行器的组合，在加工设备之间快速准确地传输晶片。它还包括一个带有可编程逻辑控制器（PLC）的运动控制单元，以提供精确的运动控制。运动控制单元可用于同步多个进程以提供高效的操作。该晶片处理程序配备了精密的光学机械系统，以确保晶片的精确、不重迭的传输。它有一个集成的真空室，可以精确地操纵腔内的晶片。这种真空室设计有一个集成的机械臂精确的处理和可重复性。晶片处理机配备了一种自动视力检查晶片的机器，超过了市场上大多数自动化晶片处理机。它有广泛的可用检查选项，包括原位视力检查，使操作员能够确认晶圆质量，而不必从工具中移除。FabExpress是一款高度可靠的晶圆处理程序,可提供出色的处理精度和可重复性。它具有先进的安全功能,如传感器和联锁,以实现最大程度的过程控制和可靠性。此晶圆处理程序设计为全天候运行,且停机时间最短。它还附带了服务、维护和部件包,以确保最佳的性能和最小的中断。
还没有评论