二手 BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #293626364 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload 6是一款为半导体制造而设计的高性能、全自动晶圆处理程序。Fixload 6可以处理直径从100毫米到300毫米不等的晶圆，由一个主控制单元和用于晶圆放置和传输的动力转盘组成。它包括先进的多通安全设备，配有双锁安全门、密码保护和内置传感器，用于监控和保护正在处理的晶片。此外,系统还采用晶片传输模块（WTM）,将晶片引导到目标站点,而Intelliflow （TM）自适应实时控制技术不断调整和校正晶片路径,以最大限度地提高吞吐量和效率,并确定何时需要停止晶片以防止晶片损坏。健壮的BROOKS AUTOMATION Fixload 6还具有完整的可追踪性功能,包括实时配方管理、日志级别的准确性以及跟踪晶圆从头到尾的整个生命周期的晶圆中心跟踪（TM）。异常报告允许操作员快速识别任何问题并建议纠正措施。该机由运行在FPGA上的高速控制器提供动力，以及用于精确和恒定晶圆放置的高精度、超精确、三轴压电执行器。Fixload 6包含多种安全和警报功能，包括互锁开关、故障检测和报告以及紧急停止逻辑。BROOKS AUTOMATION Fixload 6采用3级或4级晶片传输和高传动、低扭矩传输心轴,旨在提高晶片吞吐量,同时提供高精度和高精度。由于其用户友好的界面和高水平的自动化,它还允许快速、轻松地进行设置和维护。最终的结果是高速、可靠、精确的晶片处理，产量最好。