二手 BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #293639259 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload 6晶片处理器是一种先进的自动化设备，能够对半导体和光子芯片制造中使用的晶片进行高效而精确的处理。该系统具有独特的机器人"拾取和放置"功能，能够以高可重复性和准确性传输和处理晶片。Fixload 6的设计占用空间很小,只需最少维护,每分钟可传输40个晶圆。该单元具有自清洁循环、符合人体工程学的加载/卸载接口和直观的编程语言。它配有陶瓷中心柱，允许200毫米和300毫米晶片在载波和工艺设备等各个位置之间安全、方便地传输。BROOKS AUTOMATION Fixload 6的模块化设计允许根据应用程序进行定制。它的馈线臂可以上下移动，也可以左右移动，从而对晶片的放置提供精确的控制。可选的升级,如晶片级或腔室级处理程序,确保了放置和检索过程的灵活性。晶圆处理程序还提供了一个先进的安全机器，包括防撞传感器和其他保护功能。Fixload 6每个单元最多可容纳两个载波,可支持多达200个晶圆载波,从而实现高生产吞吐量。这样可以缩短循环时间，快速自动将晶片送入和送出加工室。它灵活、易于使用的摄像头工具提高了自动化精度并降低了总体成本。BROOKS AUTOMATION Fixload 6旨在成为制造商可靠且经济实惠的晶圆处理解决方桉。其快速、轻松的传输能力,加上低维护和强大的安全系统,使其成为各种工业应用的一个有吸引力的选择。它的高级编程功能还为用户提供了对其生产过程的更大控制和自定义。