二手 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #293635521 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload 6M是一款晶圆处理程序，旨在促进半导体制造中单位大小晶圆的高产加工。这种多用途、单盒式、多维晶片处理程序专门设计用于提供最小负载锁定和机器人过渡,以实现无缝、高效的吞吐量。Fixload 6M集成了高速双轴机器人、精确的微气门定位器和优化的双端小瓶夹持器。机器人和抓手都有圆形轨迹，转弯较宽，以最大程度地减少机器人的位置时间，并最大限度地提高机器人对其他过程的可用性。该机器人设计用于将晶片从晶片盒式磁带移动到加载锁、小瓶或其他处理阶段，并具有无菌操作和小脚印。微型阀门定位器独立于机器人工作，将其柔性喷嘴精确地保持在目标上，以减少工作量。此集成系统支持高吞吐量操作,且处理错误最小。该机器拥有一整套接口选项，与各种工艺设备兼容。BROOKS AUTOMATION Fixload 6 M能够与不同品牌的现有设备以及BROOKS AUTOMATION全套先进技术集成。易于使用的运动规划软件还可以确保自动化、维护和监控都是在人工干预最少的情况下进行的。Fixload 6M的集成设计使晶圆处理速度更快、更一致。优化后的双端小瓶夹持器能有效地传输各种尺寸和位置的多个晶片，而机器人和微气门定位器的并联运动提供了更高的精度和可靠性。这加上最小的负载锁定和机器人过渡，导致了平稳和无错误的处理。BROOKS AUTOMATION Fixload 6M配备了多种安全功能,以实现长期可靠性。多个安全系统包括为机器操作员和机器人提供保护，从而降低了损坏和伤害的风险。此外,该机器还具有多种内置诊断功能,可提供快速、准确的故障排除,以最大限度地提高正常运行时间并减少整个系统的停机时间。Fixload 6M是寻求提高生产产量、降低成本和提高安全性的半导体设施的理想选择。凭借其先进的设计、集成的技术和多用途的接口选项,这款晶圆处理程序是希望实现高水平卓越的设施的理想选择。