二手 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #293800213 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload 6M是一款先进的基于机器人的单晶圆处理程序,旨在在工艺工具之间提供可靠、高效的晶圆传输。它是在各种晶圆加工过程之间处理和转移所有晶圆类型的理想解决方桉，如蚀刻、光刻和沉积。Fixload 6M是完全自动化的,与多种工艺工具协同工作。它可以处理范围广泛的基材尺寸，直径从2英寸到12英寸不等。BROOKS AUTOMATION Fixload 6M利用双臂机械机构与端效应器在真空封闭的晶片拾取环境中传输晶片。它还具有阳极氧化铝框架，具有优异的热和振动稳定性，减少冲击和振动效果，以确保准确性和可重复性。机器人的主电机驱动由伺服控制器供电，使机器人能够精确控制机器人手臂的运动和旋转。Fixload 6M配备了分辨率控制的视觉设备，使其能够精确定位和瞄准物体。对视觉系统进行了优化，以最大程度地减少误载统计和快速重定目标误载。它还使晶圆分选能够减少污染。该单元还具有自动离散点扫描和线扫描技术，用于检测晶圆表面的针孔、表面缺陷和颗粒污染。BROOKS AUTOMATION Fixload 6M提供卓越的吞吐量速度和准确性,而不牺牲质量控制。其自动清洗功能和车载电源管理确保了高质量清洁晶片的传输。其全面的数据跟踪和报告机器记录关键的测量，以确保可追踪性，这有助于过程故障排除。此外,Fixload 6M还提供各种用户友好的功能,例如清晰的零件跟踪和对气瓶和颗粒陷阱等耗材的实时报警。该软件允许用户快速编程更改、设置配方和开发可定制的工厂报告。服务中心提供维修和维护服务,确保BROOKS AUTOMATION Fixload 6 M按预期执行。总体而言,Fixload 6M是一款先进、可靠且高效的晶圆处理程序,经过优化,可提供一致的性能,同时提供低误载统计数据以及卓越的吞吐量和质量。其强大的特性和设计使BROOKS AUTOMATION Fixload 6M成为半导体行业最佳的解决方桉。