二手 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #9392798 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload 6M
ID: 9392798
晶圆大小: 12"
Load port, 12".
BROOKS AUTOMATION Fixload 6M是一款先进的晶圆处理程序,旨在协助半导体、平板和LED基板的生产运输。它可以方便地加载和卸载各种尺寸和配置的不规则形状的基板。其先进技术提供高精度、可重复、可靠的基板处理,以最大限度地提高生产吞吐量。Fixload 6M配备了单轴预对齐器,能够在基板和载荷端口之间进行精确的三维对齐,提供基板与其指定位置的精确对齐。它配有独立的驱动臂,可同时装载和卸载多达6个基板。这样可以减少基板加工的延迟时间,从而节省生产吞吐量和成本。BROOKS AUTOMATION Fixload 6 M利用最先进的主动加载算法来减少手动干预的需求。该算法动态监测弹簧压力、旋转倾斜度以及基板与载荷端口之间的距离。这消除了操作员调整不同基板尺寸的负载端口的必要性。为了确保安全准确的载荷,Fixload 6M的主动载荷算法自动调整基板的载荷后作用。此外,该装置还配备了一个获得专利的真空端口,通过使基板保持静止,有助于确保适当地固定在基板上。它配有直观的触摸屏显示器,便于操作,允许用户自定义自己的流程,并为每个基板指定参数。此外,还为国际用户设计了多种语言(如英语、中文、日语、韩语和西班牙语)的用户界面。该设备还包括具有6种颜色设置的高级LED照明系统,可用于调整亮度、饱和度和其他设置。此外,BROOKS AUTOMATION Fixload 6 M具有自我诊断功能,能够检测生产处理过程中是否发生任何机械故障。该设备还能够通过触摸屏显示屏上的状态指示灯通知操作员系统错误。Fixload 6M专为各种工业应用而设计,如半导体晶片成型、测试和切割。它为基板提供了可靠、精确和经济高效的快速高效处理解决方桉。它有离线和在线两种配置,适合地板和单元生产。它还为各种格式和大小提供了可靠的支持,使其可用于多种基板类型。
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