二手 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #293634031 待售

ID: 293634031
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Load port, 12" 2002 vintage.
BROOKS AUTOMATION Fixload V6是一个晶圆处理器,设计为真空/负载锁定系统的一部分。它是一种通用晶片处理系统,旨在提供安全、安全、高效的从真空系统装卸晶片的手段。全自动晶片处理程序采用符合人体工程学设计的车身,安装在耐用、低调、紧凑的底座上。软件控制的V6旨在满足当今快节奏半导体生产线的需求。其内置的Auto-focus功能使操作员能够快速准确地调整最佳焦点距离,而获得专利的No-Touch Wafer Gripper确保了安全、无接触的晶圆过渡。由于其先进的自上而下的晶片处理机制,用户可以快速准确地将各种尺寸的晶片传输到目的地的负载锁支架上。V6还具有直观的图形用户界面,允许用户根据需要轻松监控晶圆处理和调整设置。它在基座和机器人机体上采用安全联锁,以防止意外机械干扰,而综合安全笼则保护人员免受潜在危害。而且,V6的设计提供了极好的重复性,最大可重复的2-sigma位置精度± 25 µm。V6采用耐用的不锈钢结构,以提高系统可靠性,并采用封闭式底座,以改进热管理。底座装有偏转调节,用于精确的晶圆高度调节。它还设计用于管理多个晶片负载,并具有可移动晶片平台,以方便设置和维护。最后,Fixload V6是一款顶级晶片处理程序,旨在提供一种安全、安全和高效的方法,用于从真空系统加载和卸载晶片。它具有出色的可重复性和可靠性,而直观的图形用户界面允许快速、轻松地进行监控和调整。其专利的无触摸晶片夹具和偏转调节进一步确保优化晶片处理和精度。
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