二手 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #293634036 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload V6是一款晶圆处理程序，设计用于在批量半导体制造过程中实现晶圆装卸自动化。它允许在单个过程中高效和半自动地加载和卸载晶片。这样可以在单个运行中处理大量晶片,并减少处理时间。Fixload V6使用Flexible Pod设备，可以容纳多种晶圆尺寸，包括6英寸和8英寸圆形晶圆。柔性吊舱系统被设计为与其他系统兼容，例如晶圆处理系统，并且易于配置，允许处理特定的晶圆大小。该单元使用集成的真空晶片转换机将晶片送入和送出加工平台，并使用定位和定向系统精确对准晶片进行加工。此外,该工具可以配置为自动检测未对准并中止该过程,从而防止晶片和加工设备损坏。BROOKS AUTOMATION Fixload V6有一个高效的过程控制器和一个功能齐全的图形界面，以确保所有晶圆过程的平稳和安全操作。控制器可用于控制晶圆冷却、烘烤、氧化等多个晶圆处理任务，以及监控过程变量。还可以将资产配置为根据处理过程中的测量结果自动调整流程参数。这是为了优化加工条件，防止由于非最佳条件对晶片造成任何损坏。Fixload V6具有保护模型和晶片免受污染和其他环境因素的安全设计。它有一个安全的访问设备和一个内置的联锁系统，以防止意外单元故障。此外,BROOKS AUTOMATION Fixload V6还包括跟踪系统,用于监视和记录所有流程事件并检测任何错误。这样做的目的是使计算机在出现任何问题时更容易进行调试和故障排除。Fixload V6是一种用户友好可靠的晶圆处理工具。它旨在提高晶圆加工在半导体制造过程中的效率和生产率。