二手 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #9056693 待售
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BROOKS AUTOMATION Fixload V6是由BROOKS AUTOMATION开发的下一代高性能晶圆处理器。该处理程序旨在减少晶圆的产生并最大限度地提高晶圆处理的吞吐量。Fixload V6用于将晶片运输和装载到加工室和其他组件中。BROOKS AUTOMATION Fixload V6由四个主要组件组成-穿梭设备、手臂、安全系统和驱动机构。穿梭装置用来将晶片定位在正确的方向,然后通过插入到适当的模具中来加载。手臂用来牢牢地握住晶片,以精确的模式移动。该安全机器旨在确保所有晶片的处理安全。最后,使用驱动机构为手臂和穿梭器的运动提供动力。Fixload V6能够手动和自动加载和卸载晶片。在手动模式下,用户可以控制手臂的运动进行精确的晶圆处理。在自动模式下,用户可以设置要加载的晶圆数量、晶圆移动速度、晶圆大小等某些参数。这使得快速准确地将多个晶片加载到多个腔室或其他组件中成为可能。BROOKS AUTOMATION Fixload V6还被设计为极其可靠和坚固。它采用独特的离心力式驱动,以减少元件磨损,并允许延长使用寿命。此外,Fixload V6在高达310°C的低温下运行,这有助于最大程度地减少粒子的总生成。BROOKS AUTOMATION Fixload V6是晶圆处理的绝佳选择,提供可靠性、鲁棒性和低粒子生成。它专为最大吞吐量和精确移动而设计,允许用户快速准确地处理晶片。此外,它的低温操作有助于延长寿命和减少粒子生成。
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