二手 BROOKS AUTOMATION Guardian #9018584 待售
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BROOKS AUTOMATION Guardian™晶片处理程序是一种可靠的、业界领先的半导体、MEMS和光子晶片自动机器人处理解决方桉。它配备了超清洁的体系结构和功能,在无污染的制造环境中提供一流的易碎材料处理。晶圆处理程序利用布鲁克斯的精密机器人技术和稳定运动技术来确保晶圆的层流和超低粒数。其专利机械处理与晶片级对准设备提供了安全、坚固的附着和晶片的分离从他们的存储卡带没有损坏。该系统具有多种模具和运动控制选项,允许根据几乎所有需要定制自动化解决方桉。Guardian的清洁房间就绪结构消除了制造和转让过程中的污染物。其半透明的机器人技术有助于提高能见度,在确保最高水平的工厂安全、生产力和质量的同时实现更好的过程控制。该单元还通过其紧凑的设计提供精确的运动控制和有效利用空间。先进的视觉机器与晶圆运动急剧融合,使机器能够识别出肮脏和干净的晶圆,分析盒式磁带堆栈和检测误载。其集成的晶圆取向工具为下游工艺精确对齐晶圆,最大限度地减少工艺误差和报废。此外,BROOKS AUTOMATION GUARDIAN晶圆处理程序易于设置、配置和维护。它设计为ESD安全,可在恶劣的环境中实现最佳正常运行时间,并提供远程诊断和诊断通知。该机器具有很高的可扩展性,并且与现有的自动化系统兼容。晶片处理程序具有高分辨率的准确性和更大的自动化灵活性,可实现更高的生产率,从而提高吞吐量。总而言之,Guardian晶片处理程序是一个高效可靠的解决方桉,满足大容量半导体和光子学制造机构的需求。它提供高级功能、高可扩展性和远程诊断,同时将高级机器人技术与洁净室体系结构和运动控制无缝集成在一起。
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