二手 BROOKS AUTOMATION Guardian #9018585 待售

BROOKS AUTOMATION GUARDIAN是用于敏感半导体设施的先进晶圆处理器。它设计用于处理和存储六个标准的25mm或50mm晶片,插入直径为300或460mm。Guardian的设计目的是为敏感晶片提供最大程度的保护,同时提高吞吐量。BROOKS AUTOMATION GUARDIAN包含多种保护晶片完整性的功能。晶片经过环境密封，以防止灰尘污染，各种传感器检测晶片位置或温度的任何变化，提醒操作人员可能的危险。加强与外部环境的隔离有助于减少静电荷。外部电源进一步防止任何可能损坏组件的浪涌。设备的灵活性允许自动和手动操作处理程序。它配备了基于配方的半自动平台，简化晶圆交换和交付。Guardian具有适应各种晶圆大小和工艺温度的能力，允许运行各种工艺。在性能方面,BROOKS AUTOMATION GUARDIAN采用快速、精确的运动控制系统,可提供高达每秒24轴的运动速度,从而减少晶圆传输时间并提高吞吐量。控制单元连接了先进的视觉摄像头和扫描系统，允许测量晶片地形，这有助于验证单个晶片的正确处理。总体而言，对于寻找能够处理敏感晶片并服务于各种行业的新型晶片处理程序的客户来说，Guardian是一个理想的选择。这种晶片处理程序为晶片的输送和交换提供了可靠的保护和更快的速度,以及在不同晶片尺寸和工艺温度下工作的灵活性。先进的运动控制机和照相机及扫描系统有助于提供安全的晶圆处理和加工验证。