二手 BROOKS AUTOMATION Guardian #9018586 待售
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BROOKS AUTOMATION GUARDIAN是一款半自动晶圆处理程序,设计用于各种半导体制造应用。Guardian能够处理几乎任何大小或形状的晶片,从小模片到大块,并且设计成以最大的效率和准确度操作。BROOKS AUTOMATION GUARDIAN有一个高援助晶片拦截系统,它利用一个经过验证的机械托盘装载机和自动进纸机器人,以确保晶片的准确放置和安全处理进出工具。它还提供了广泛的晶片处理能力,包括在加工工具之间传输晶片片和晶片,输出晶片盒带和框架,从晶片盘和船载器输入和输出晶片片,同时输入和输出包含多片的容器。除了晶片处理能力外,嘉德还为大容量晶片切片应用提供可靠、可重复的操作。其先进的运动控制算法能够对晶片进行安全、准确的定位和切片,以及可靠的晶片容器自动装卸。为了进一步增强其功能,BROOKS AUTOMATION Guardian包括各种可定制的软件选项,包括配方编辑器、流程监视器、检查功能以及对外部配方的支持。它还具有易于使用的操作员控制界面,有助于简化晶圆处理过程。总体而言,Guardian是一款可靠高效的晶圆处理器,设计用于各种半导体制造应用。其强大的功能和自动化功能使其成为大批量制造操作的理想解决方桉。
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