二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #293729630 待售

ID: 293729630
Systems SLR 200 LPTSM/R.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款用途广泛、功能强大的晶圆处理程序,旨在为当今最先进的半导体和MEMS(微机电系统)晶圆产品提供高效、精确的传输。它采用双级设计,具有几乎无摩擦的非接触式传输系统,可轻松快速地移动直径达300 mm的晶片,最大重量为4kg。凭借其高性能的伺服驱动器,它具有平滑、精确的运动轮廓,可以非常精确地对准晶圆,并且整个循环时间可达4.5秒。除了固态构造外,JENOPTIK Ergospeed II还配备了多项高级功能,以提高灵活性和增强性能。其灵活的用户界面允许快速集成到现有的自动化系统中,包括一系列AC2电机、自动化协议以及包括摄像头和夹具在内的可选附件。先进的基于以太网的实时通信支持快速高效的操作。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II旨在提供卓越的吞吐量、可靠性和可扩展性。其高速、非接触式晶圆处理系统消除了与细腻零件的物理接触,降低了整体成本和潜在的损坏。晶圆处理器具有先进的热管理系统,还提供高效的冷却功能,有助于在运行过程中保持温度一致性。Ergospeed II的紧凑设计为各种生产环境提供了灵活的解决方桉,从小型实验室到大型生产线。其较小的占地面积意味着它需要更少的空间和更少的工具,使其成为晶圆粘合、晶圆切丁和晶圆除屑等应用的理想选择。为了提高性能和安全性,BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II配备了一系列特殊功能,包括防震和防振技术,以及用于快速、轻松诊断故障的自我诊断系统。晶片处理程序的坚固可靠的操作确保了稳定可靠的日常性能。总体而言,JENOPTIK Ergospeed II是一款先进可靠的晶圆处理器,旨在为当今最先进的半导体和MEMS晶圆产品提供高效、精确的传输。凭借其高性能伺服驱动器和多功能自动化集成,它为各种生产环境提供了灵活且经济高效的解决方桉。
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