二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #293806330 待售
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BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款用途广泛、自主的单晶圆处理器,设计用于设备、测试和生产晶圆直径最大和包括200 mm的高通量处理,最大直径悬垂为11英寸(280mm)。通过Ergospeed的重新定位精度,晶片可以放置在相同的标记上,并在± 500微米内获得精度认证,精度在± 50微米以下,可重复性高达150微米。这样可以方便且可重复地放置晶片和晶片,以便为各种应用程序定制。此外,JENOPTIK Ergospeed II的灵活性使其能够与各种工具和流程集成,并且最多可同时处理三种工具。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II是一个高度可靠的晶圆处理程序,具有以下功能: 300毫米晶片的加工速度为每小时36个晶片,200毫米晶片的加工速度为每小时100个晶片。处理晶片的能力高达11英寸 (280mm)直径获专利的加热卡盘技术,内部温度可调节至70摄氏度温度精度± 2摄氏度高速静电卡盘,可与多达12牛顿的力并行夹紧手动表面清洁系统的选件定制解决方桉的专用端效应器选件范围更广的产品, 包括扁平晶片、通孔晶片和各种材料的晶片基板Ergospeed II还配备了自动过程监控和优化功能。这款晶圆处理程序最大的位置精度和可重复性,结合其自动过程监控和优化功能,使其适用于各种芯片制造、测试和封装应用。此外,它的低维护要求(包括不需要重新校准或特殊工具)可确保此晶圆处理程序的用户获得最佳的可重复结果、更快的处理时间和更高的产率。总体而言,BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一种高度可靠且用途广泛的晶圆处理程序,可以很好地集成到各种应用程序中。凭借其高速度、精确度、可调温度、可靠的表面清洁系统和无标定性能,用户获得了一个能够显着提高工艺速度和产率的出色解决方桉。
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