二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9093060 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款高性能晶圆处理程序,专为单侧和双侧基板应用而设计。它提供了多种功能,旨在提高效率和安全性,实现尽可能最佳的吞吐量速率。其电动基板平移设备使用精密控制的电机，与手动系统相比，能够使用更快、更动态的运动。它还采用了优化的策略来减少死亡时间,从而最大限度地减少周期时间。JENOPTIK Ergospeed II提供高吞吐量速度,并且由于全机械设计而不会停机。其先进的伺服驱动器与无刷电动机相结合,可实现最高效、最精确的运动,而内部电子系统增强的8区外部位置传感则可确保平稳、精确的运动控制。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II配备了先进的双负载端口单元，具有提供最高精度和可靠性的双抓地力电极。双头机器人配备了两个可独立控制的主轴头，以确保精确的基板采摘和放置。Ergospeed II拥有一台集成的机器人安全机器，可从控制工具环境中访问所有安全组件、联锁和联锁矩阵。它还包括自动校准所有晶圆载荷位置的自动校准资产和协助校准和发现不准确的视觉模型。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II设计为用户友好且操作直观。其用户友好的界面和图形表示使得它易于监测和控制基板处理以及跟踪整个设备中晶片的状态。它还具有专用的工作流程,用于操作,如基板加载、从插座到处理区域传输,以及舱口和摊位打开。总体而言，JENOPTIK Ergospeed II是高精度、高通量晶圆处理的绝佳选择。它结合了先进的机器人系统、安全系统、校准系统和直观的用户友好界面，使其成为任何实验室或生产设施的绝佳选择。它的准确性和可靠性使得它成为一个经济高效的解决方桉，以满足所有晶圆处理需求。