二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280737 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一种高速晶圆处理器，旨在自动化晶圆处理应用。它与工业标准晶片尺寸相容，直径从100毫米到300毫米不等，允许广泛的应用。JENOPTIK Ergospeed II利用先进的电机技术，确保晶圆的精确一致处理，从而最大限度地缩短加工时间，提高产量。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II专为满足晶圆装卸系统的要求而设计。载荷端口设计为支持单面晶片载荷，以及允许双面晶片载荷或卸载。它还具有广泛的过程中视觉检查能力，如红外和紫外线成像，以及物体识别。此外，可以使用车载视觉设备实现自动对准和对准校正。Ergospeed II具有集成的晶片定向系统，允许在单元中精确放置晶片。该机利用两个垂直照相机系统产生360度的晶片图像，允许晶片识别和进一步的晶片处理。此外,晶圆对准工具可以将晶圆精确地安装到加工室内。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II配备了集成的高性能驱动电机,提供精确的运动控制和灵活性。该资产专为高速运行而设计，可提供快速一致的晶圆处理，最大速度高达200毫米/秒。高分辨率的动态驱动模型在控制抖动和振动的同时也提供了平滑的运动。在安全性方面，JENOPTIK Ergospeed II包含了一系列安全特性，以保护晶圆操作员不会意外接触机器。这些功能包括设备操作过程中的互锁设备，以及防止意外接触的安全罩。此外，还包括紧急停止系统。总体而言,BROOKS AUTOMATION Ergospeed II是一款高度先进的晶圆处理程序,旨在使晶圆处理应用程序自动化。其先进的电机技术确保了晶圆的精确和一致的处理,最大速度可达200 mm/s。集成的安全功能进一步确保了晶圆操作员的保护。凭借其广泛的能力，该单元是高速晶圆加工的理想选择。