二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280738 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一种用于半导体晶圆处理的自动化晶圆处理程序。该系统旨在方便晶片在各种半导体晶片加工工具之间的加载、卸载和运输。JENOPTIK Ergospeed II旨在最大限度地减少操作员的干预,从而消除了以前晶圆处理系统所需的大量体力劳动。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II采用专有的位置执行器，与计算机控制的晶圆级协同工作。这种组合使得处理程序能够在没有外部干扰的情况下精确精确地移动晶片。Ergospeed II可以与各种类型的晶圆处理工具接口，包括分选器、锯、磨床、抛光器、旋转涂层和光电探测器。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II具有晶片盒和存储托盘,使处理程序能够同时执行加载、卸载和晶片传输操作。它还配备了晶片对准机构，利用激光成像系统确保晶片被正确定位，防止晶片表面积和处理程序内部部件之间的接触。JENOPTIK Ergospeed II一次操作最多可处理200个晶圆，进一步缩短了处理时间。它也能够在密闭的工作空间下运作，使得它甚至适用于地板空间有限的实验室。此外,它的模块化设计降低了与维护和维修相关的成本,允许用户快速访问和更换处理程序的某些部件,同时保持其他组件不受影响。总体而言,BROOKS AUTOMATION Ergospeed II是一款精心设计的自动化晶片处理程序,可提供精确的移动和可靠的操作。该系统减少了处理时间，提高了安全性，非常适合地板空间和资源有限的实验室。