二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280740 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款高效可靠的晶圆处理器，用于半导体生产。它专为处理直径8至300毫米晶片的生产线而设计。它的自动化处理过程允许在半导体生产环境中在工艺步骤之间准确一致地传输晶片。JENOPTIK Ergospeed II使用两轴机械臂和铰接式臂设计，在其原始位置和机器人处理或存储站之间高效传输晶片。手臂可以处理一个长达8公斤（17.6磅）的晶片或多个长达30公斤（66磅）的晶片。晶圆运动与生产线的其余部分通过可编程逻辑控制器进行控制和同步。手臂的运动可以调整到精确适合晶片，保护其免受损坏。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II通过使用成像仪相机将晶片定位在所需的精确角度、旋转和位置,实现自动预对准。此自动化系统消除了手动调整,并降低了人为错误的风险。晶圆尺寸通过自动对齐过程自动识别并相应调整。在各站之间传输晶片时，臂尽可能靠近转运站，降低晶片污染的风险。晶片还牢牢抓住两侧,以确保安全传输。通过内部数据记录器监控每次传输的精度,该记录器记录整个过程,并为每次传输提供详细的审核跟踪。Ergospeed II旨在确保生产过程中的高吞吐量和准确性,并提供直观的用户界面。该系统包括驾驶软件、维护工具和安全系统等多种支持组件，以确保处理程序在峰值性能下运行。JENOPTIK设计了BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II晶片处理程序，以支援高效率、高通量的生产线。其自动化的处理过程和高效的设计提供了可靠和一致的晶片转移与污染或损坏的风险最小。这确保了高效可靠的半导体生产过程。