二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280751 待售

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
已售出
ID: 9280751
SMIF Load port SLR 200 LPTSM/R.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款前沿晶片处理程序,旨在提高晶片处理的效率、精度和吞吐量。此设备包含许多提高性能、可靠性和用户友好性的创新功能。JENOPTIK Ergospeed II是一个超清洁系统,设计用于处理多达300毫米晶圆。它提供了卓越的污染控制,因为它使用了最先进的过滤系统来防止污染物进入晶圆处理环境。它还包含一个粒子过滤器,定期去除影响晶片质量和工艺精确度的空气传播粒子。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II还配备了由高分辨率相机和图像处理算法组成的先进视觉单元。这台机器可以检测晶片中的细微缺陷,加快检测时间。再者,它也可以与多个机器人整合,允许使用者控制来自各种不同位置的晶圆运动。Ergospeed II也很灵活。它能够进行多种不同类型的晶圆加工,如自旋涂层、干湿蚀刻和氧化。它还包含一个可以根据用户需求量身定制的多区域加热工具。利用这一资产,用户可以定制加热条件,以最适合他们需要进行的每一个过程。该模型还具有直观的用户界面,可轻松访问设备参数和详细的过程信息。这有助于用户快速、精确地控制其流程,从而优化其结果。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II还配备了一系列模块化、可互换的组件,因此在必要时升级或扩展系统非常简单。总而言之,JENOPTIK Ergospeed II是一款前沿晶片处理程序,提供了广泛的高级特性和功能。它旨在提供快速、准确和可靠的结果,使其成为晶圆处理应用程序的理想选择。
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