二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280753 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款高性能晶圆处理器，旨在为生物医学和半导体应用提供精确可靠的晶圆传输和操作。JENOPTIK Ergospeed II晶片处理程序是一种自动化的机器人设备,能够传输、对准和分类精度小于1 μ m的半导体晶片,速度超过每小时2000个晶片。机器人的平台可配置最多容纳三个晶片，最大负载为15公斤，用于高容量生产应用。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II的车架由阳极氧化铝制成，带有碳纤维复合机械臂，可实现五轴运动，提供了广泛的复杂运动。机器人配备了改进的Delta PLC运动控制器和伺服驱动的线性执行器。这样可以确保快速的加速和减速时间,从而实现更快的晶圆操作。机器人还具有视觉系统，通过自动拾取晶片上的标记，机器人可以快速准确地定位晶片。视觉系统进一步用于缺陷检测，可用于高级晶圆处理中的其他自动化任务。Ergospeed II还为可靠的操作提供了各种安全功能,例如端站检测系统、过载保护和运动范围的可编程限制。这样可以确保机器人不会过度移动,并对晶圆或机器本身造成任何损坏。机器人最大速度1.5 m/s，最大工作空间600 mm。这款晶圆处理器是一款紧凑、节能、经济实惠的解决方桉，适用于许多生物医学和半导体应用。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II为大容量晶圆处理操作提供了广泛的运动、快速和精确的精度。JENOPTIK Ergospeed II的使用寿命长、耐用性高、移动速度快,确保在半导体生产和生物医学应用中实现性能最大化。