二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280754 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是一款高效的晶圆处理器，旨在优化半导体生产中的机器人辅助运动。这个晶圆处理程序是由一个机械臂配备了最小化的最佳品种组件和传送带。它能够执行晶圆探测、加载、晶圆传输和卸载等任务。JENOPTIK Ergospeed II由一个具有龙门设备的机器人臂组成，该龙门设备执行晶圆探测、加载、传输和卸载。这个龙门机器人系统提供了一个紧凑的设计，具有同时处理多达六个晶片的能力。此外,BROOKS AUTOMATION Ergospeed II的机械臂设计精确度和性能,并采用伺服驱动的接头进行严格的运动。在500 mm x 500 mm的工作区域内可达到+/-0.03mm的精度。Ergospeed II的晶片装载机部分与堆栈装卸功能完全集成。装载机机制的设计允许连续的批量装载、卸载和存储多达500个晶圆。另外一种装置是将晶片放置在传送带单元上，在机械臂和装载机构之间运输晶片。该传送带机采用闭环反应，以确保精确定位和速度高达150毫米每秒。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II的其他特性包括其宽广的工作温度范围-10至+40摄氏度，以及密封的入口点，以防止灰尘和其他颗粒进入机组并影响其性能。此外,JENOPTIK Ergospeed II内置了工具维护和诊断工具,以及用于快速设置和配置的直观图形用户界面。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II晶片处理程序是半导体生产应用的理想选择,它结合了紧凑的设计、精确度和强大的性能能力。其最先进的机械臂、装载机和输送机资产旨在最大限度地减少机械轴的运动并最大化输出,同时确保精度和可靠性。