二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280881 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II晶片处理器是一款高性能的机器人交付设备，设计用于200 mm和300 mm半导体晶片的自动化生产。这种机械臂用于晶片加工，如光刻、蚀刻、扩散和抛光，以及用于晶片转移和晶片在不同生产和测试阶段之间的运输。机器人操作通过带有触摸屏显示的图形用户界面（GUI）易于控制。处理程序的人体工程学设计使晶片的处理安全高效，同时确保了高质量的最终产品。处理程序配备了内部灯光屏障、紧急停止按钮等先进的安全功能，以及用于额外保护的互锁机制。它还有一个整合式双离合器系统,可以在向前/向后移动之间平稳过渡,以及一个获得专利的双关节驱动单元,它允许机器人手臂在所有方向上高精度地移动。该设计还得到了全自动晶片传输机的补充,该机消除了手动加载/卸载过程,从而实现了大型晶片生产步骤的自动化。JENOPTIK Ergospeed II晶片处理程序运行在电机驱动的主轴上,该主轴配备了高扭矩扭矩电机和编码器反馈。这样可以确保高精度的操作,同时允许快速的晶圆旋转速度。先进的真空吸收器牢固地固定和传输晶片,而不会损坏,而几个传感器监视真空压力,从而确保故障安全和一致的拾取。机器人还配备了多种维护指标，确保处理程序的正确使用。听觉警报会定期响起，提醒操作员检查和调整所有安全和控制功能。还提供了一个维护提醒，可自定义以指定何时、何时对机器人进行维护。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II晶片处理程序是一款功能强大的机械臂,为自动化生产线中的晶片处理和传输提供可靠、高质量的解决方桉。