二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280883 待售

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
已售出
ID: 9280883
SMIF Loading system SLR 200 LPTSM/R.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II是专门为基于晶片的生产过程的自动化控制而设计的晶片处理程序。该设备能够在不同处理阶段之间安全地传输晶片,从而实现高效和安全的操作。JENOPTIK Ergospeed II具有较高的吞吐量能力,能够以每秒2.7米的速度运行,为用户提供更好的生产时间和最小的停机时间。晶圆处理程序具有一系列独立的机器人组件,包括三维X-Y-Z线性执行器、空气轴承级和真空晶圆抓握设备。所有组件都集成到智能运动系统中,该系统允许在所有三个轴中进行复杂的移动。执行器被设计成尽可能准确地控制晶片的运动,而空气轴承级提供晶片的稳定和安全的运动。真空晶片抓握装置具有安全、可重复的抓握功能,为用户提供可靠的定位精度。此外,该单元还配备了各种集成安全功能,如防撞传感器和可编程安全规则。BROOKS AUTOMATION Ergospeed II旨在与现有的各种机器平台兼容,从步进器和扫描仪等机器到机械臂。晶圆处理程序甚至可以并入半自动化过程中,使其成为需要手动操作的应用程序的理想选择。它还与广泛的沉积和分析系统兼容。总体而言,Ergospeed II是一款高度可靠的晶圆处理程序,可提供令人印象深刻的吞吐量能力和安全保证。其独立的机器人部件、集成的运动机器和集成的安全功能使晶片能够在生产的各个阶段之间进行高效、安全的传输,确保每次都能获得质量效果。
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