二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTS/L #9032628 待售

JENOPTIK Ergospeed LPTS/L Wafer Handler是一款用于半导体加工的符合人体工程学设计、用户友好的晶圆处理设备。它是当今市场上最可靠和最可靠的晶圆处理程序之一,旨在满足客户对流程兼容性、鲁棒性和风险缓解的需求。LPTS/L提供了一个非常低调的晶圆处理系统,并具有用于地板或台式安装的紧凑设计。它配备了BROOKS AUTOMATION专利的无超氯化物表面保护技术，使其能够可靠地处理20"和25" csp晶片，直径可达8英寸，厚度为7.5微米。该设备的安静操作少于72dBa,非常适合清洁环境。LPTS/L由铝和不锈钢构成，可以安装在任何洁净室的桌子或地板上。LPTS/L具有无与伦比的精度和可重复性,晶圆到晶圆的速度为0.02秒,晶圆到杯子的速度为0.1秒,非常适合大容量应用。它具有500克的总提升能力,并具有可选的"证明载荷"功能,可确保加载正确的晶圆和盖板。该机还具有自动晶片卡带识别、晶片偏差检测和校正、自动定位现场验证等功能。LPTS/L可轻松集成到现有的自动化系统中,具有标准的串行接口和可选的自动晶圆跟踪工具,可跟踪晶圆位置以确保高效处理。此外,还可以通过提供特殊的软件模块来实施特定于客户的流程系统。总体而言，BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed LPTS/L晶圆处理程序是现代晶圆处理设备的一个令人印象深刻的例子。低外形设计、低噪声操作以及卓越的准确性和可重复性使其成为半导体处理应用的理想选择。此外,用户友好的操作资产、集成的自动化和特定于客户的软件模块使其成为满足最高级晶圆处理需求的通用解决方桉。