二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTS/R #9032627 待售

JENOPTIK Ergospeed LPTS/R晶圆处理器设计用于半导体加工和晶圆制造。这个晶圆处理程序是一个多功能的解决方桉,它提供了一整套功能,旨在满足当今技术先进的半导体制造商不断增长的需求。LPTS/R在轻量级设计中为用户提供精确的晶圆传输和精确的对齐过程。BROOKS AUTOMATION Ergospeed LPTS/R晶圆处理程序设计有先进的升降机和面板对准设备。升降机和对齐器系统由两个独立的组件组成-升降机站和对齐站。升降机站主动将晶片从基座上抬起,以确保在转移到对齐站时放置准确且可重复。在那里，对齐站精确对齐晶片，以确保完美的面板转移。Ergospeed LPTS/R支持多种基板尺寸和形状,包括环形盒式磁带、六角形、矩形和方形基板。它还提供带有关闭机制的负载端口,可配置为手动或自动操作。此外,每个端口都配有可直观识别加载状态的LED指示灯,以及用于准确检测故障或损坏的负载锁定传感器。LPTS/R晶圆处理程序设计有几个附加功能,可提高其性能和可用性。它的升力电动机板由16个独立的、无刷的电动机组成，以允许更大的直通载荷和更短的循环时间。提升环路结构可帮助处理程序保持300 mm的提升高度。这种设计元素还可以降低设备的功耗。此外,处理程序享有模块化的单元体系结构,使其能够轻松交换零件或组件。这样可以确保用户维护保持在最低限度,并确保整个计算机以最高效率运行。最后,Ergospeed LPTS/R采用先进的安全机制进行设计,以保护用户和设备。其双点机械极限开关有助于保护升降机和面板对准器，而ESD保护则抑制静态堆积。在紧急情况下,该工具还具有紧急停止、双联锁系统和电源故障警报功能。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed LPTS/R晶片处理程序是寻求精确晶片传输、精确对准过程和可靠安全机制的用户的理想解决方桉。这种多合一解决方桉为用户提供了满足快节奏半导体行业需求所必需的功能。