二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Fixload 25 #293645362 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Fixload 25晶圆处理器是微电子中晶圆传输和传输的理想解决方桉。这种自动晶片装载机几乎可以处理任何类型的晶片，并在处理步骤之间可靠地传输它。它灵活的设计使其非常适合串联或独立操作。该单元的设计包括五个关键组成部分：线性执行器、可倾斜晶片盒、拾取和放置操作、晶片编码器和区域阵列传感器。线性执行器负责将晶片从盒式磁带提升和推向晶片编码器。可翻转晶片盒的设计几乎可以容纳任何晶片尺寸和重量，可以用于晶片的连续装卸。拾取和放置操作允许晶片在任何角度精确移动和定位。使用直接闭环控制和在线测量，可以实现精确的重复性、准确性和速度。晶圆编码器设计用于识别晶圆横向平面。这种精密的系统使得晶圆可以很容易地放置在所需的角度和深度。面积阵列传感器使用的线性和选项分辨率高达10.5微米，精度为0.5微米。加上晶圆编码器，这允许了可重复、准确和精确的晶圆传输。此外，其多种控制和通信接口，包括模拟控制和数字设备监控，可实现最佳的灵活性和性能。总体而言，JENOPTIK Fixload 25是一个可靠、高度准确和通用的晶圆处理程序。先进的控制系统，加上灵活的设计，可以为串联和独立的流程提供精确的可重复性能。此外，其可靠的性能和较低的维护要求使其成为微电子应用的首选。