二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Fixload 25 #9159888 待售

ID: 9159888
晶圆大小: 12"
优质的: 2000
Loaders, 12" 2000 vintage.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Fixload 25是一种自动化晶片处理设备,设计用于半导体晶片和盒式磁带的高效装卸。该系统能够处理直径达200毫米的晶片,并且可以容纳各种卡带尺寸。该单元由三轴伺服驱动机器人、机器人基地、控制计算机、操作机器和装卸站组成。机器人装有两个线性运动级和一个旋转运动级,允许精确的晶圆和盒式装卸。这些运动阶段提供了快速的周期时间和可靠的性能。该工具还具有红外探测器和明亮的LED光源。这样可以在装卸盒式磁带时准确识别晶圆位置。这样还可以确保盒式磁带以正确的方向加载,而无需手动干预。为了高效准确的装卸,JENOPTIK Fixload 25使用了几种安全功能,包括缓冲角、自动晶圆级传感器和盒式传感器。这样可以确保晶片安全地进入装卸站,并正确装卸盒式磁带。资产还具有高级软件套件,用于监视模型性能和协调自动化任务。该软件还包括设备保护的集成安全功能,以防止自动化过程中出现任何错误。BROOKS AUTOMATION Fixload 25是一个高效、精确的晶圆处理系统。它的机器人和运动阶段提供了快速的周期时间和可靠的性能,同时它的安全特性保证了安全的装卸。综合软件和安全功能还可以提供更大的单位保护。
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