二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200 #9097054 待售

BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200
ID: 9097054
Load Port (LPTSM/L).
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200是用于薄膜工艺自动化的晶圆处理程序。它旨在满足半导体行业的严格要求,具有紧凑的设计、可靠的操控和低交叉污染等特点。JENOPTIK SLR 200由一个框架和两个握持晶片的伺服控制手组成。它旨在减少与晶片加载/卸载相关的停机时间,减少出错的可能性。BROOKS AUTOMATION SLR 200能够处理直径达16英寸、厚度达4.5mm的晶片。手可以抓住晶片的边缘,确保晶片在运输过程中正确定位并牢固地固定在适当的位置。晶圆处理程序由交流电动机供电,并结合了先进的监控系统,以确保晶圆处理过程尽可能高效地进行。该系统还包括保护晶片免受不当操作损坏的安全功能。SLR 200可靠性高,操作方便,有几个关键笔触,使操作员能够对其进行编程处理。它能够快速检测表面缺陷,并在晶圆表面定位精确的接触点。该软件还提供了一个用户友好的图形用户界面,使编程变得容易。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200具有自动聚焦和模式识别等高级功能,用于控制晶圆处理程序,以确保晶圆得到准确处理。它还包括集成的激光切割设备和电气系统测试组件。JENOPTIK SLR 200旨在提供坚固、可靠和稳定的晶圆处理解决方桉。它的设计还使其能够配置为适应各种薄膜工艺,包括硬掩蔽、封装、薄膜沉积、扩散和其他相关工艺。总之,BROOKS AUTOMATION SLR 200是一款经济高效、稳健的晶圆处理器,旨在满足半导体行业的需求。它可靠易用,其先进的功能使其成为处理各种尺寸和形状的晶片的通用工具。
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