二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200 #9129244 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200晶圆处理器是一种自动化的机器人设备，设计用于半导体制造应用中晶圆的装卸。该系统可在无菌环境中精确处理晶片。JENOPTIK SLR 200装有静电放电（ESD）保护单元，防止晶片因静电电荷损坏。使用高效的执行器，晶片可以比手动装卸快2-3倍移出工具。该机能够达到1820毫米/秒的峰值速度，可以处理100 µm至200毫米大小的晶片。它提供了广泛的功能，包括允许快速编程的映射工具，以及每分钟处理多达50个晶圆的能力。该工具旨在提高生产率,具有集成的视觉资产,能够在一个周期内识别所有晶圆类型和大小。该模型还提供了晶圆放置的高精度，可重复性为0.2mm。BROOKS AUTOMATION SLR 200还可以与其他装载机/卸载机和真空机器人一起使用，以提高吞吐量。此外，设备还提供多种安全功能，包括紧急停止按钮和红外传感器。这样可以确保晶片以安全的方式处理。该系统还包括一个直观的用户界面，允许易于操作和编程。总体而言，单反200晶圆处理器是半导体制造应用中晶圆装卸的高效可靠平台。它能够处理各种晶圆尺寸、精确的放置和快速的速度,非常适合提高生产效率和自动化。