二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #9411478 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision是一款高度先进的晶圆处理机器人，专为半自动和全自动过程而设计。它能够将各种晶圆尺寸从中央卡带转移到半导体生产线中的机器人送货车、激光、批量装载机、蚀刻机和其他机器。这个机器人被设计成提供非常精确的运动和可靠的提供晶片最小的开销。JENOPTIK Vision采用先进的BROOKS AUTOMATION Vision系统来识别和跟踪晶圆的位置和大小,同时其机械臂可以以+/-2.3微米的重复性精度和0.12微米的精度来拾取、输送和放置晶圆。两轴转盘有4000 RPM，倾斜范围为正负30度。手臂的对角运动由直流电动机提供动力，允许在远距离快速而精确的运动。此外，机械臂能够承载34公斤，从而确保可以处理高通量的晶圆。Vision还具有多种安全功能,旨在确保晶圆处理安全进行。其中包括安全额定的经EPS认证的联锁装置，在保护装置打开时禁用机器人，以及扭矩传感器和马达的过载保护。此外，机器人可以很容易地集成到自动化生产线中，因为它采用标准的RS-232连接进行设计，以便与生产线上的其他元素进行通信。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision还可以编程为直接集成到客户的可编程逻辑控制器中,而无需任何其他软件。JENOPTIK Vision是一个强大、精确和高度精确的工具，用于处理和转移晶片，以简化生产过程。它的一系列功能,包括BROOKS AUTOMATION Vision系统、机械臂、扭矩传感器、过载保护和安全系统,保证了晶圆的可靠和安全交付以及平稳、高效的操作。