二手 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #9411479 待售

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision是一款强健的工业级机器人晶片处理器，设计用于处理晶片制造设施内的半导体晶片。它由各种机器人子系统组成，这些子系统集成在一起，为晶圆在处理模块和阶段之间的传输提供了一个完整的晶圆处理系统。JENOPTIK Vision机器人机械手设计用于处理各种晶圆。它配有一个四轴机器人手臂，可以抓握和定向晶片，以便在晶片制造设施内运输。机器人在地板上装有基于BROOKS AUTOMATION Vision的导航和导航标记，以确保精确放置晶圆。晶圆的位置使用真空进给室监控，该室可以检测和控制晶圆的相对位置。机械臂由提供精确快速运动控制的高精度伺服电机驱动。机器人还有一个集成的安全系统，能够检测和阻止系统中的任何潜在事故。Vision还集成了晶片清洁和预清洁站，该站配备了一个旋转干燥器和一个高压洗衣机，用于清洁晶片。机器人还配备了任务规划师，能够同时运行多个晶圆处理程序。此外，BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision机器人还能够对晶圆进行实时监控，并可以借助车载传感器和摄像头检测障碍物、停车和监控安全状况，检测任何事故。它内置的软件功能可以控制不同机器人之间的运动、编程和协调任务，并自动管理位置、速度和程序序列。JENOPTIK Vision还提供通信和数据接口，用于与其他处理设备连接。它是一种高效、精确的晶片处理程序,为晶片的传输提供了灵活性、高速和准确性,并为晶片制造设施提供了可靠、集成的自动化解决方桉。