二手 BROOKS AUTOMATION Lot of (2) Robots #293621700 待售

BROOKS AUTOMATION 195402是一款装有机动龙门的晶圆处理器，执行各种晶圆处理任务。晶片处理程序设计用于在需要晶片与晶片接触的情况下操纵晶片并创建均匀的晶片间距。它最多可进行四轴运动和自动操作。196402是一种全自动装置，能够以高精度传输和对准晶片，没有外部操作员。晶片通过输入/输出端口加载和卸载,并通过真空吸力牢固地固定。然后，真空引导机器人手臂使用机动龙门将晶片移动到所需的目的地。运动轴是可单独调节的,晶圆方向是可调整的.195402能够支撑各种晶圆尺寸和基材，直径从200毫米到300毫米。它还设计用于支撑小型和大型基板以及复杂和简单的形状。机械臂的微细精度和处理器的小特性尺寸使其适用于精密应用。例如196402可以用于晶圆翻转和定位，以及在腔室和系统之间进行复杂的晶圆传输。晶圆处理程序可能与现有系统兼容，并配有大量通信协议。它可以作为独立系统运行，也可以作为更大的自动化网络的一部分集成。自动化操作还允许快速和并发操作,从而提高吞吐量。BROOKS AUTOMATION 195402晶圆处理程序是一种高效、可靠、可调、灵活的设备。它允许将高级自动化级别集成到一系列系统和流程中。其设计多种多样，精细精密，保证了其适合于各种晶圆处理需求。