二手 BROOKS AUTOMATION Lot of (4) Robots #293621707 待售

ID: 293621707
Part numbers: 182320 182320 182320R 182320R.
BROOKS AUTOMATION 182320是一个运输平台,非常适合研发以及制造、环境中的各种晶圆处理操作。它设计为模块化,这意味着它可以灵活地进行定制,以满足用户的特定要求。182320的多功能性使它能够根据几乎任何可以想象的操作进行定制。BROOKS AUTOMATION 182320采用先进的传感技术和软件构建,提供精确可靠的控制。它提供高达5度的移动性,在预先编程的阶梯台阶中每秒可行驶9.8英寸。这使得它适合在各种各样的过程中处理和转移晶片。182320具有一个Grid-Loc™晶片支架,可容纳三、四或六英寸直径的12个晶片。单个网格截面可以配置为两个溷合尺寸为2英寸或4英寸的截面。晶圆座的每一臂都可以独立控制,使其可以倾斜高达90度的精确放置。BROOKS AUTOMATION 182320还有一个集成的三轴开放架构运动控制器和旋转编码器。这允许最多五个运动轴,使其成为复杂任务(如晶圆从一台机器传输到另一台机)的理想选择,或用于掩码对齐过程中的阵列沉积。它还提供对每个任务的加速度、速度和位置的精确控制。此外,182320的面板上有多个连接器,因此您可以轻松地为各种目的配置计算机。BROOKS AUTOMATION 182320的设计保证了高精度和可靠性。先进的软件和传感技术使其能够进行精确的机器人运动,而健壮的平台则有助于确保机器保持适当的位置并保持平稳移动。这使得它成为各种加工和研究环境中连续晶片生产和处理的理想选择。
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