二手 BROOKS AUTOMATİON Magnatran 7 #293809901 待售

BROOKS AUTOMATION ATR-8 Wafer Handler是一个高性能、功能齐全的自动化系统,旨在促进对大面积晶片和基板进行高效、精确和可靠的处理。该系统包括一个专有的真空输送机系统，可容纳八个直径8英寸的晶片或四个直径12英寸的晶片，从而能够快速交换传统的无包装晶片。BROOKS AUTOMATION ATR8的模块化设计允许配置多达四个标准子系统,包括真空传输模块、控制器接口模块、机器人真空传输模块和运动控制模块。每个模块都能够处理和/或连接到其他模块。真空传输模块设计用于一次拾取多个晶片并将其放置到控制器接口模块中进行进一步处理。控制器接口模块包含专用电子设备，操作员可以对其进行编程，以控制机器人和真空阶段。它还充当其他模块的接口,将指令传递给每个模块,并在必要时返回到真空传输模块。机器人真空传输模块是一种专门的伺服驱动设备，在将晶片从真空传输模块移动到运动控制模块的同时，对晶片进行连续操作。在位置反馈传感器的帮助下，机器人每次都能确保晶片的精确放置和运动。最后，运动控制模块负责通过提供沿着X和Y轴的精确运动来控制晶片的运动，从而实现最佳定位。此模块自动调整晶片沿传送带移动时的速度和加速度。ATR-8是自动化应用的理想晶圆处理程序，其中速度、可靠性和精度至关重要。将机器人的力量与位置传感器的精确度相结合，设计成服务于广泛的行业，其模块化设计允许最多四个子系统的定制配置。凭借其复杂而简单的体系结构,ATR8是帮助简化自动化过程的绝佳选择。