二手 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 #9082680 待售

BROOKS AUTOMATION Magnatran 7（MT7）是一个高性能、自动化的晶圆处理平台，旨在最大限度地提高生产吞吐量和产量。它提供了扩展的网页深度和现场可更换的晶圆处理技术。它旨在快速、准确地将晶片移入和移出深层处理系统,同时在过程中提供灵活性。该设备基于该公司获得专利的"Magnatran"技术，这是一种机器人晶圆处理的综合解决方桉。这项技术使用机器人运动、网状几何和光学控制系统的组合来跟踪晶片通过系统的运动。该MT7包括底架、机械臂、晶片处理旋转木马、直线电机（用于移动晶片处理旋转木马）、光学晶片检测、晶片处理窗口和触摸屏界面。MT7的底架为单元的其他组件提供机械支撑。机械臂由多个关节组成，负责操纵旋转木马周围的晶片。旋转木马由几个货架组成，这些货架上有晶片。直线电动机用于控制和驱动旋转木马从一端到另一端的运动。它采用三相永磁直驱直线电动机，行程范围可达两米。这种电动机允许旋转木马在机器的各个区域之间移动，例如晶圆装卸区域。位于旋转木马内的光学晶片检测工具负责监测晶片在资产中移动时的进展并提供反馈。这是通过使用光源和照相机来实现的。该MT7设有晶片处理窗口，这是一个高度专业化的设备，用于从旋转木马装卸晶片。它采用自动化的弯曲设计，产生真空，将晶片从旋转木马中拉出并传递到所需的目的地。最后，MT7还设有触摸屏用户界面。这为用户提供了一个直观易用的平台，从该平台可以访问和控制模型的各种功能。Magnatran 7提供了一种高效可靠的晶圆运输手段。它提供了灵活性、可扩展性和一系列功能,以适应各种晶圆处理设备。该设备旨在确保晶片在过程的各个阶段快速准确地移动，同时最大限度地提高吞吐量和产量。