二手 BROOKS AUTOMATION Magnatran MAG7 #9167827 待售

BROOKS AUTOMATION Magnatran MAG7是一种半导体晶圆处理器,专为工厂自动化和过程集成而设计。该MAG7旨在提供从盒式磁带到盒式磁带的均匀可靠的晶片处理、自动晶片加载、彻底的真空验证、精确的晶片放置以及安全的晶片容器。该MAG7有一个以"3轴"方式操作的机械臂，可提供广泛的操作范围。手臂连接到一个固定的手臂支架，该支架可以在提供安全基础的同时沿"Z"方向移动手臂。手臂的底座也有可调节的垂直升力，以降低或抬起手臂进行人体工程学操作。该MAG7采用直观、菜单驱动的触摸屏界面,允许创建和存储晶圆食谱和配方程序。这样,晶片负载就可以轻松地在工作站之间移动,且工作量最小。触摸面板还提供创建和存储晶圆放置程序的功能,在配置晶圆配方时提供灵活性。为了增加可靠性,一个自动晶片加载系统确保正确的晶片放置和定向.MAG7采用串联真空验证系统，验证晶圆插槽的完整性，需要最少的操作员干预。为了最大限度地实现工艺集成，MAG7设计为与多个晶圆载波兼容，包括各种类型的盒式磁带和FOUP。它还可以与任何需要晶圆移动和/或清洁的工艺设备集成，如光刻和蚀刻。每个MAG7都是由高级铝制成的，可以在100-300级环境中轻松清洁。在操作过程中断电时,MAG7还具有高级动态保护监视支持。Magnatran MAG7为半导体和先进晶圆加工应用提供了卓越的性能和价值。其高度可靠和用户友好的设计允许顺利集成到自动晶圆处理和处理系统中。凭借其直观的触摸面板、通用的晶片载体功能和先进的错误保护,MAG7是最可靠的晶片处理解决方桉之一。