二手 BROOKS AUTOMATION Magnatron 7 #293666637 待售

BROOKS AUTOMATION Magnatron 7
ID: 293666637
Robot Z-Drive: 35 mm.
BROOKS AUTOMATION Magnatron 7是一款先进的晶圆处理器,旨在为半导体和MEMS制造过程提供稳健的控制和自动化。BROOKS AUTOMATION MAGNATRON7利用先进的运动控制技术,在HVM和研究/开发(R&D)制造过程中精确移动和定位晶片。Magnatron 7是一款完全集成的设备,结合了精确运动控制、直观的HMI、可扩展的体系结构和以过程为中心的软件,便于配置和控制。MAGNATRON7的精确运动控制基于两个独立的400mm GBBA直线电动机,分辨率为0.1 μ m。这些电机在整个操作系统中精确地移动晶圆传输雪橇,我们的运动控制算法提供了一种平滑的运动,确保了准确和可重复的运动。我们的专有速度和加速度控制以及一系列定位传感器进一步增强了运动单元。BROOKS AUTOMATION Magnatron 7还包括一个直观的HMI,它经过专门设计,提供了最佳的用户体验。HMI包括图形用户界面、内置工具(如配方控件和产品数据库)以及用于创建自定义晶圆处理序列的广泛工具集。BROOKS AUTOMATION MAGNATRON7还可以与大多数现有的直接驱动级操作系统接口,从而允许客户连接到现有的机器组件。Magnatron 7强大且可扩展的体系结构使用户能够根据应用程序要求定制产品。MAGNATRON7可配置的功能包括:运输雪橇总数、晶圆方向、晶圆尺寸、晶圆处理速度和机器人控制。该工具还支持以流程为中心的软件包,允许客户快速配置和修改不同产品类型和生产流程的参数。Magnatron 7非常适合HVM和R&D制造过程,因为它结合了技术、灵活性和可扩展性,非常适合高溷合/高容量生产环境。BROOKS AUTOMATION Magnatron 7具有强大的运动控制、直观的HMI、可扩展的体系结构和以过程为中心的软件,可满足一系列晶圆处理需求。
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