二手 BROOKS AUTOMATION MTR-5 #9012382 待售

BROOKS AUTOMATION MTR-5是一种精密的晶圆处理程序,专为自动晶圆传输和处理而设计.它是一个机器人控制的单元，在晶圆处理室内移动和定向晶圆。它可以被编程为旋转晶片，拾取和放置它们，并在晶片处理室和存储模块或负载锁定模块之间传输它们。BROOKS AUTOMATION MTR5与多个晶圆处理平台兼容，使其适合广泛的晶圆处理要求。MTR 5的垂直触角可达35厘米，其晶圆处理组件中可容纳多达五个晶圆。机器人机械手的速度是可调的，能够将晶片精确定位在装卸区。该单元还可以将晶片精确移动到指定的X、Y和Z位置。MTR5还有一个智能真空模块，防止晶圆因过度处理而损坏。BROOKS AUTOMATION MTR 5配备了快速缩回式真空式喷嘴，可轻轻拾取晶片而不会造成任何划痕或损坏。晶圆处理设备是为了满足小规模和大批量生产的要求而建造的。机器人机械手具有精确定位的高精度定位系统.它还具有多种安全特性，如运动感应安全机构来保护单元及其部件。MTR-5还具有板载PLC控制单元,允许灵活编程和个性化操作。它还能够并行执行多个操作。PLC包括易于使用的触摸屏用户界面,便于晶圆处理和监控。机器还具有用于连接外部自动化系统和其他设备的远程I/O端口。BROOKS AUTOMATION MTR-5旨在提供平稳可靠的晶圆拾取和放置操作。也可用于分类、堆迭、模版印刷、蚀刻、浸涂等不同任务。机器人机械手采用质量最高的部件制造，并附有一年保修。BROOKS AUTOMATION MTR5为晶圆处理操作提供了高效的解决方桉。