二手 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #293600562 待售

BROOKS AUTOMATION MTX 2000是一款一流的机器人晶圆处理器,可提供卓越的生产力和性能,以满足当今半导体处理环境的苛刻需求。MTX 2000旨在以最小的停机时间处理中至大直径晶圆直径,确保用户获得最佳的产量和最大的成本节约。BROOKS AUTOMATION MTX 2000是一种先进的高速晶圆处理设备,具有冗余轴以及板载诊断和编程系统。顶端装载机的设计可以快速、准确地装卸晶圆载波。它还允许在负载端口之间灵活交换部件,以便快速进行设置更改。先进的机器人执行器，直线电机驱动和更智能的软件控制单元提供几乎没有停机晶圆处理。该机器由三个子系统组成：晶圆运动子系统、晶圆缓冲子系统和晶圆传输子系统。晶圆运动子系统沿X、Y和Z轴移动晶圆。晶圆缓冲子系统根据晶圆所需的传输顺序存储优先级列表。晶圆传输子系统在传送点和响应点之间水平穿梭晶圆。MTX 2000设计用于精确地线程、脱线、对齐、代理、传输和重新映射各种大小和重量的晶圆。它还可以按照进入工具的顺序快速定位和索引晶片。资产配备了Anti-Pattern、Interlock和Estop功能,这些功能对于安全和安保至关重要。BROOKS AUTOMATION MTX 2000还允许通过其先进的过滤模型减少颗粒物的产生。Brooks's Automation MTX 2000是一个可靠的晶圆处理程序，可以定制以满足用户的特定需求。它提供了最大的产量、更高的成本节约和卓越的性能,是超高环境的最佳解决方桉。