二手 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #293663057 待售

BROOKS® AUTOMATION BROOKS AUTOMATION MTX 2000是用于高级半导体处理的全自动晶圆处理解决方桉。它提供零缺陷晶片传输和定位精度，能够处理50毫米至200毫米的晶片，并通过其托盘式盒式和串联传输设备支持多达8200个晶片。其集成的机器人和输送机系统是为了满足客户对晶圆精确处理和处理的最严格的特定要求而构建的。MTX 2000自动晶圆处理解决方桉得益于先进的运动控制技术和模块化单元拓扑。它具有全电动伺服系统和无液压系统，确保晶圆传输平稳、精确，最大限度地提高晶圆吞吐量。它还具有高度精密、无干扰的安全机器,可确保刀具的安全运行,同时保持高吞吐量速率和严格控制晶圆传输和定位精度。该资产提供了灵活性和可靠性,具有更快的处理速度和多种晶圆放置的可能性。它还支持腔室到腔室的环境晶片传输，并提供高通量密度。此外,它的高级维护功能有助于确保最长的正常运行时间和资源,并减少预防性维护的成本高昂的停机时间。它还具有一个通用的工具更换器，它允许多个机器人技术和工具可以快速、轻松地进行交换。BROOKS AUTOMATION MTX 2000自动晶圆处理解决方桉被设计为与一系列设备、烤盘和装载臂集成在一起,并且可以量身定制以符合客户的确切工艺要求。它提供各种版本,提供一系列不同级别的自动化和控制。该模型还具有高度的可配置性和可升级性,可实现未来的可扩展性和成本效益。最后,MTX 2000设备得到了着名的BROOKS AUTOMATION服务和支持团队的支持,提供了数十年的专业知识和可靠的服务,并具有先进的工程和制造能力。