二手 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #9194300 待售

BROOKS AUTOMATION MTX 2000是一款高性能的机器人晶圆处理器，设计用于几个不同的行业，包括半导体制造和材料处理。这种设备能够处理各种晶片类型，包括裸晶片、蚀刻晶片或涂层晶片。MTX 2000能够同时进行拾取和放置操作以及手动加载和卸载晶片。它具有集成的高速机械臂、直观的用户界面和板载微控制器,可为不同的应用程序快速轻松地对机器进行编程。BROOKS AUTOMATION MTX 2000专为高吞吐量、准确性和灵活性而设计。它使用直流无刷伺服电机为机械臂供电。这使系统能够高速、精确地移动手臂。集成的用户界面可以方便地编程和监视设备的状态及其操作。该机还有一个集成的PID控制器，可以进行调整，以提供机械臂的精确定位以及刀具的平稳加速和减速。进出资产的晶圆由闸门模型控制。这种闸门设备能够控制晶片的流动，防止由于负载端口的污染而造成的交叉污染。此外,可以将系统配置为接受不同大小的晶片,甚至同时处理两个不同大小的晶片。集成真空单元也可以用来拾取和移动晶片从一个工艺步骤到下一个工艺步骤。该机还具有多种安全功能，以确保操作正常。它配备了一台板载计算机，可监控工具的状态和操作，即使没有操作员在场也可以操作。此外，资产还具有一系列机械和电气联锁装置，可防止任何危险情况因模型故障而发生。最后，MTX 2000具有电子控制设备，在编程和控制方面提供了一系列灵活性。该系统可用于为机器配置不同的应用，包括晶片分块、晶片断裂、晶片排序等。此外,该单元允许用户根据其操作的特定要求自定义其性能。