二手 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #9203435 待售
网址复制成功！
单击可缩放
BROOKS AUTOMATION MTX 2000是一款高端精密晶圆处理器，适用于包括半导体制造、计量、半导体测试等应用。MTX 2000利用独一无二的三轴精细运动控制设备，为放置在其温度控制室中的晶片提供卓越的精度和可重复性。BROOKS AUTOMATION MTX 2000的精细运动控制系统由三台控制晶圆X-Y-Z定位的直线电动机组成。三个线性编码器测量并记录晶圆的确切位置。这个错综复杂的单元允许单微米晶片放置精度，并确保MTX 2000晶片传输操作之间的重复性。BROOKS AUTOMATION MTX 2000能够以小于四（4）微米的精度进行晶片装卸、传输和对准。一个大容量的机器人真空夹具有助于精确处理和运输直径6-12英寸的晶圆。此外，自动晶圆映射功能简化了多位置晶圆传输的自定义编程。MTX 2000的车载计算机使用图形用户界面协调所有晶圆传输操作。BROOKS AUTOMATION MTX 2000的编程软件允许用户调整工具的传输参数，以优化晶圆传输速度和精度。晶片加载/卸载资产包括一个基于真空的晶片盒式电源、一个基于真空的z轴升降机和一个输送带机构。为确保无污染晶片的传输，晶片盒电源采用氮气和特殊设计来过滤污染物。除标准型号外,MTX 2000还提供1类清洁室配置,用于需要额外清洁度和无菌度的应用程序。BROOKS AUTOMATION MTX 2000提供了多种不同的温度控制、湿度控制和大气压力控制功能，以确保处理和处理晶片的理想环境。工作温度范围为-40°C至300°C,并在1°C ±内保持精度。MTX 2000的联合运营使其成为广泛行业和应用的完美解决方桉。
还没有评论