二手 BROOKS AUTOMATION MTX 4000 #9194301 待售

BROOKS AUTOMATION MTX 4000晶圆处理器是一种自动化晶圆处理设备，设计用于移动半导体晶圆并将其精确放置到加工工具中。它非常适合晶片传输、晶片加载以及测试晶片处理、涂层和开封、探测以及模具拾取和放置等应用。MTX 4000配备了先进的传感器和机械手，用于精确运输晶片并将其放入加工工具中，以及评估晶片几何形状以保证质量。晶圆机械手设计用于驱动晶圆，同时同步控制夹持力和晶圆位置。BROOKS AUTOMATION MTX 4000由基于PLC的逻辑控制系统供电,该系统在晶圆沿其路径移动时永久监视和控制晶圆的位置。该单元用于对晶片的温度和位置进行精确调整，使其向载波方向和远离载波。控制机还具有双冗余空气阀，以确保整个工具的压力均匀一致。MTX 4000还包括几个安全功能，如可调节的紧急关闭阀和一个完整的资产互锁。BROOKS AUTOMATION MTX 4000还具有与其他相关硬件和软件接口的能力，以便集成模型。这包括使用FOUP处理机制、负载端口和卡带操纵器。OEM接口板提供MTX 4000与其他系统之间的连接，允许用户发送晶圆配方、协调信号和发送/接收其他控制信号等数据。BROOKS AUTOMATION MTX 4000附带了几项附加功能,例如彩色触摸屏终端、多级密码保护和多语言支持。它还支持环境监测，利用内置空气过滤器、压力传感器和热监测等功能。可以针对不同尺寸的晶片配置和定制MTX 4000,并且可以手动或自动模式操作设备。总体而言,BROOKS AUTOMATION MTX 4000晶圆处理器是一种高效可靠的晶圆处理系统,具有先进的传感器和控制系统,可确保准确性和安全性。其广泛的特性、灵活性和集成能力使其成为半导体行业晶圆处理应用的理想选择。