二手 BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5 #197759 待售

BROOKS AUTOMATION MULTTRAN 5是一款高性能晶圆处理器，旨在满足要求最苛刻的半导体织物的要求。它是一种完全自动化的SECS/GEM兼容设备,在手动处理程序所需时间的一小部分内,能够可靠地交付和处理200 mm和300 mm晶圆。MULTTRAN 5具有高精度和重复性,能够在高通量的生产环境中运行。BROOKS AUTOMATION MULTTRAN 5集成了无刷直流伺服电动机和精密球形螺杆驱动，提供高分辨率的线性运动和可重复、精确的定位。其强大的基于RFID的晶片输入/输出功能使系统能够跟踪每个晶片的标识并在整个制造过程中监视其路径。该单元专为在多个负载端口、盒式磁带、前端存储器、工具/探针站点和计量设备之间进行高效晶圆传输而设计。利用它的伸缩合金轨道和一对独立的机动托盘，机器可以在其操作区域内的任何点拾取/传送晶片。MULTITRAN 5具有高度的可扩展性,具有一系列可选功能,包括用于晶圆传送的多组盒式磁带接口、用于门控制的机械臂接口、远程IO和附加托盘。它还具有直观的用户界面,可轻松输入数据、实时诊断和正确的工具设置。此外，其灵活的运动控制资产允许轻松集成到制造环境中，允许在同一模型内并发处理和操作多个晶片。它提供了一个易于使用的图形用户界面,允许快速设置设备,并包含一系列选项来配置系统以满足您的应用程序特定需求。BROOKS AUTOMATATION MULTRAN 5专为在恶劣的晶圆厂环境中运行而设计,可确保可靠性和更长的使用寿命,并提供最低限度的维护。它采用无载波专利设计，消除了与盒式磁带和载波变形相关的顾虑，减少了对精细晶片的压力。坚固的结构确保延长使用寿命,减少维护和维修的需要。