二手 BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE #9194533 待售

BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE是用于半导体制造应用的自动化晶圆处理器。自动化设备的设计使晶片能够精确地进出工艺室，具有高吞吐量和易于扩展的多种应用。PRE-200-CE具有独特的负载端口设计，可以在机器人和传输吊舱之间快速交换晶片。这种高速传输功能允许快速的产品转换和无障碍传输。BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE采用先进的机器人技术、数字微控制器设计和易于使用的人机界面（HMI）设计。这些功能可以同时加载和卸载晶片,以及用于晶片传输的精确运动控制。PRE-200-CE与复杂的晶片管理处理软件集成在一起,该软件提供了广泛的功能来简化晶片处理。该软件有助于防止与系统其他机器人和部件的碰撞，允许对晶圆处理任务进行编程，并允许单元监控和报告。BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE的核心是它的机器人控制器，它是为高吞吐量和可靠性而设计的。该控制器包括一台先进的实时操作机器，实现了快速精确晶圆传输的重复运动控制。控制器还提供高级诊断、错误处理和网络连接,用于远程监视工具。PRE-200-CE机器人晶片处理程序的设计外形紧凑，占地面积小，非常适合清洁室使用。它还具有可调尺寸,可满足不断变化的制造工艺要求。这款机器人晶片处理程序易于与其他设备集成，如热处理反应堆、在线检测系统、支持系统等。总体而言,BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE是一种高性能晶圆处理解决方桉,可为一系列应用程序提供可靠且可重复的运动控制。其坚固的结构和高通量能力使其成为大容量半导体制造应用的理想解决方桉。PRE-200-CE机器人晶片处理程序具有直观易用的HMI和高级软件功能,非常适合自动晶片处理过程。